| 课程号 |
04832990 |
学分 |
2 |
| 英文名称 |
Comprehensive Experiment of Micro-Nano Electronics |
| 先修课程 |
数字电路，模拟电路，半导体物理，集成电路工艺，数字集成电路设计 |
| 中文简介 |
课程目标：通过微纳电子专业实验，使得学生了解微电子器件、集成电路设计、纳电子材料和MEMS器件的基本实验，加深对相关基础知识的掌握
授课对象：课程面向信息学院及北大其他相关院系的高年级本科生和研究生
外校的教师和高年级学生
课程内容：
微电子器件制备及测试-12学时
集成电路设计-9学时
纳电子材料制备和表征-6学时
微纳流控芯片应用-6学时
上课时间：2015年暑期小学期，共40学时
任课教师：韩德栋，傅云义，王玮，贾嵩，崔小欣
选课人数：<20人
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| 英文简介 |
Mission: Understand fundamental principle of integrated circuits design methodology, microelectronics device structure and testing. |
| 开课院系 |
信息科学技术学院 |
| 通选课领域 |
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| 是否属于艺术与美育 |
否 |
| 平台课性质 |
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| 平台课类型 |
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| 授课语言 |
中文 |
| 教材 |
微电子学概论,张兴 黄如 刘晓彦,北京大学出版社,2010年,第三版,9787301168790；
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| 参考书 |
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| 教学大纲 |
通过微纳电子专业实验，使得学生了解微电子器件、集成电路设计、纳电子材料和MEMS器件的基本实验，加深对相关基础知识的掌握。
1、微电子器件制备与测试：
实验目的：通过微电子工艺实验，了解微电子工艺制备设备，微电子的基本工艺技术
微电子光刻工艺技术-4学时
光刻机的基本工艺原理
光刻技术的工艺流程
微电子镀膜工艺技术-4学时
真空镀膜的基本工艺原理
中空镀膜的工艺流程
图形转移工艺技术-4学时
剥离技术的基本工艺原理
剥离技术的工艺流程
2、集成电路设计-12学时
实验目的：通过定制和半定制实验，了解设计流程和设计工具，掌握两种设计方法的优势
数字电路的定制设计-6学时
全加器的设计-电路设计、电路仿真、版图设计、版图验证
16位加法器的设计-基于完成的全加器构建加法器电路及版图
数字电路的半定制设计-3学时
16位加法器的verilog设计、逻辑仿真、逻辑综合和自动布局布线
3、纳电子基础实验
实验目的：
通过讲述实验预备知识和两个独立实验，了解纳电子器件关键技术，
初步掌握典型器件材料的制备、表征和加工方法
实验安排：
纳电子器件基础实验的预备知识-2学时
纳电子器件基础知识
实验技术的原理
二维薄膜材料的制备技术-2学时
机械剥离法制备二维薄膜材料；
利用光学显微镜表征二维薄膜材料；
石墨烯薄膜的结构表征和等离子刻蚀-2学时
利用Raman光谱仪表征石墨烯的层数和缺陷；
利用等离子体对石墨烯进行刻蚀；
4、微纳流控芯片应用
实验目的：通过硅基微加工工艺与软光刻工艺制作微流控芯片，并测试流体实验性能，了解微流控芯片制作流程和初步实验方法，掌握微流控芯片技术的主要特点
微流控芯片设计与制作-4学时
常规光刻制作微流控芯片模具（可以与韩老师合，用韩老师的光刻设备）
软光刻工艺制作PDMS微流体通道结构
打孔、键合获得PDMS微流控芯片
微流控芯片实验-2学时
微流体（梯度）混合实验
本课程为高年级专业实验课，主要教学方式为设计实验，工艺试验等。
实验内容完成情况，实验报告。
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| 教学评估 |
傅云义：
学年度学期：16-17-3，课程班：微纳电子专业综合实验1，课程推荐得分：5.0，教师推荐得分：5.0，课程得分分数段：100-105；
韩德栋：
学年度学期：16-17-3，课程班：微纳电子专业综合实验1，课程推荐得分：5.0，教师推荐得分：5.0，课程得分分数段：100-105；
贾嵩：
学年度学期：16-17-3，课程班：微纳电子专业综合实验1，课程推荐得分：5.0，教师推荐得分：5.0，课程得分分数段：100-105；
王玮：
学年度学期：16-17-3，课程班：微纳电子专业综合实验1，课程推荐得分：5.0，教师推荐得分：5.0，课程得分分数段：100-105；
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